Strained isolation oxide as novel overall stress element for Tri-Gate transistors of 22nm CMOS and beyond
Tagungsband
Überblick
Veröffentlichungszeitpunkt
- 2012
Autor/in (verknüpft)
- Baldauf, Tim Professor für Theoretische Elektrotechnik / Optoelektronik
Open-Access-Kennzeichnung
- Closed Access
Sprachen
- englisch
Beteiligte Organisationen
- Fakultät Elektrotechnik
Forschung
Schlagwörter
- Logic gates
- MOS devices
- Stress
Identität
Digital Object Identifier (DOI)
Internationale Standardbuchnummer (ISBN) 13
- 1467317152