Optimization of Stressor Overlayer Parameters for MOSFET's in "Cool Silicon" – Technologies uri icon Konferenz-Paper

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Überblick

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AutorInnen

  • Baldauf, Tim
  • Illgen, Ralf
  • Flachowsky, Stefan
  • Herrmann, Thomas
  • Feudel, Thomas
  • Höntschel, Jan
  • Horstmann, Manfred
  • Klix, Wilfried
  • Stenzel, Roland

Open-Access-Kennzeichnung

  • Closed Access

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Sprachen

  • englisch

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Kuratierungs-Zielkategorie (intern)

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