Analyse und Optimierung von verspannten Schichten auf CMOS–Transistoren uri icon Konferenz-Paper

Überblick

Freigegeben

  • Ja

AutorInnen

  • Baldauf, Tim
  • Illgen, Ralf
  • Flachowsky, Stefan
  • Herrmann, Thomas
  • Feudel, Thomas
  • Höntschel, Jan
  • Horstmann, Manfred
  • Klix, Wilfried
  • Stenzel, Roland

Open-Access-Kennzeichnung

  • Closed Access

Peer Reviewed

  • Nein

Sprachen

  • deutsch

Anderes

Kuratierungs-Zielkategorie (intern)

  • Ja